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中芯国际首台12英寸晶圆设备进厂

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摘要 <正>《中国电子报》消息:6月2日,中芯国际首台12英寸晶圆生产设备进厂。此设备将用于中芯国际位于北京的12英寸晶圆制造厂,该厂是在我国建设的首座12英寸晶圆厂,该设备的进厂标志着我国IC制造业开始步入300mm时代。中芯国际12英寸晶圆厂已经拥有英飞凌和尔必达这些国际领先的合作伙伴,并且将在12英寸生产方面继续持谨慎态度,只有在客户需求的情况下,才会增加产能,到2005年底,中芯国际北京四厂的计划产能为45000片/月(以8英寸等值晶圆计算)。

DOI pd5eqxomd7/1563795

作者郑冬冬

机构地区不详

出处《半导体信息》 2004年5期

关键词中芯国际中国电子报尔必达英飞凌

分类 [电子电信][物理电子学]

出版日期 2004年05月15日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）