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软X射线显微术Si3N4薄膜窗口的研制
软X射线显微术Si3N4薄膜窗口的研制
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摘要
介绍了在软X-射线显微术研究领域中有重要应用的Si3N4薄膜窗口的实验室制作方法,并形成一套独特制备工艺,Si3N4薄膜窗口的研制成功推动了我国软X射线显微术研究的发展。
DOI
y2d3mek749/158319
作者
张延惠;宋一中;谢行恕
机构地区
不详
出处
《分子科学学报:中英文版》
1996年4期
关键词
软X射线显微术
Si3N4薄膜窗口
LPCVD
等离子体刻蚀
分类
[理学][化学]
出版日期
1996年04月14日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
分子科学学报:中英文版
1996年4期
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