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影响燃烧法合成金刚石薄膜的参数

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摘要制备金刚石薄膜的方法很多。本文主要介绍了影响燃烧法合成过程的主要因素及其对膜的质量的影响。研究表明，基板温度、氧／乙炔配比、基板至内焰距离等对合成的影响很大。

DOI pkd2nmpkd6/16486

作者文良起;刘书华

机构地区不详

出处《温州大学学报：社会科学版》 2001年3期

关键词燃烧法金刚石薄膜影响因素

分类 [文化科学][高等教育学]

出版日期 2001年03月13日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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温州大学学报：社会科学版

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