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台湾开发出高密度二氧化碳精密清洗系统

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摘要据新华社信息北京2003年7月3日讯据海外媒体报道,台湾金属工业研究发展金属中心开发出高密度二氧化碳精密洗净系统,以满足3C、光电、精密机械等产业对精密洗净制程的需求,并解决制品使用有机溶剂(如CFC、HCFC等)所造成的

DOI ojzzo5kyj5/2092622

作者

机构地区不详

出处《洗净技术》 2003年07M期

关键词高密度二氧化碳精密清洗系统台湾省 DPC-CO2 有机溶剂

分类 [电子电信][物理电子学]

出版日期 2003年02月08日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）