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《北京同步辐射装置年报》
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软X射线激光用分束镜研究
软X射线激光用分束镜研究
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摘要
软X射线干涉测量是通过软X射线激光经过马赫-詹德干涉仪完成的,是测量驱动激光临界面附近等离子体状态的重要方法。本文基于软X射线多层膜的性能特点,指出软X射线干涉测量的干涉仪各光学元件的入射角越接近正入射越好,分束镜的设计应以其反射率和透过率的乘积为衡量标准。用离子束溅射法制作了类镍银13.9nm软X射线激光干涉测量所需的分束镜,实测表明其面形精度达到纳米量级,反射率和透过率乘积大于1.6%。
DOI
7dmlq58vjn/2124478
作者
王占山;唐伟星;吴永刚;秦树基;陈玲燕;徐向东;洪毅麟;付绍军;朱杰;崔启明
机构地区
不详
出处
《北京同步辐射装置年报》
2002年1期
关键词
软X射线干涉测量
分束镜
激光
多层膜
等离子体
入射角
分类
[核科学技术][核技术及应用]
出版日期
2002年01月11日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
北京同步辐射装置年报
2002年1期
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分束镜
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