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精密超精密加工技术在微机械制造中的应用

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摘要摘要微电子器件制造技术、微机电系统制造技术以及微光电子器件制造技术合称三微制造技术。目前与“三微”系统直接有关的航空背景型号主要有微小型无人机、超高速天空飞行器、四代机、微小型武器等。其中微机电系统及微机电器件是机载设备发展的主要方向之一。该技术可应用于飞机的灵巧结构、灵巧蒙皮、雷达、导航、控制、微型武器、微型燃气涡轮发动机等。微机电系统制造技术是发展微型飞机的核心技术，要发展微型飞机、加快机载设备的更新换代，就必须发展航空微机电系统制造技术，建立相应的研究开发基地，逐步形成航空微机电制造产业。

DOI 6jrxmokwj5/2500287

作者罗晓明张旭

机构地区 (天津航空机电有限公司天津300300)

出处《电力设备》 2019年5期

关键词微机电系统超精密加工微机械制造

分类 [电气工程][电力系统及自动化]

出版日期 2019年05月15日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）