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全面垂直层流洁净室气流组织影响因素探讨

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摘要全面垂直层流洁净室气流组织的三个参数(不均匀性NU、通风效率Ea、流线平行度)影响着芯片的成品率.本文从以下方面论述了洁净室的气流组织的影响因素:送风方式、洁净度不同的速度介面、洁净室内设备及操作人员、洁净室的地板和盲板、灯具、缝隙等,为以后的精确分析洁净室的洁净度和对洁净室的气流组织优化提供帮助.

DOI y2d3k2ggj9/283467

作者袁旭东;王科

机构地区不详

出处《制冷与空调（北京）》 2005年1期

关键词气流组织洁净室室内设备送风方式地板通风效率

分类 [一般工业技术][制冷工程]

出版日期 2005年01月11日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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制冷与空调（北京）

2005年1期

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