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MEMS反射镜静电斥力致动单元电容建模

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摘要摘要微静电斥力致动器由固定指端和移动指端组成，由于两层指端的边界结构复杂，建立的分析模型也非常复杂，其中主要是由于指端结构参数与电容的影响。本文利用保角变换技术建立了MEMS反射镜静电斥力致动单元电容的解析模型，该模型的给出能简化模型中的电容变量，为下一步力的建模求解提供便捷。

DOI 2d3ze6ylj9/3131719

作者闫思齐1，姜苈峰2

机构地区（1.空军航空大学，吉林长春，130022；2.空军航空大学，吉林长春，130022）

出处《科技新时代》 2018年7期

关键词 MEMS 保角变换

分类 [医药卫生][]

出版日期 2018年07月17日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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科技新时代

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