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超声波电机驱动的精密位移机构

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摘要精密位移机构既是重要的运动执行元件，也是对工艺系统误差进行动态、静态补偿的元件。目前常见的精密位移机构一般利用弹性变形、机械传动、电磁力和压电陶瓷、电致伸缩和磁致伸缩等方式实现，这些方法都难以同时具有高频响、大行程、高精度的特点，有的还需中间的传动机构，结构复杂，精度难以提高，存在电磁干扰等问题。

DOI ldezzwznd3/349665

作者刘宏;李尚政;张日升;陈东生

机构地区不详

出处《中国工程物理研究院科技年报》 2003年1期

关键词超声波电机精密位移机构驱动结构压电陶瓷

分类 [理学][物理]

出版日期 2003年01月11日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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中国工程物理研究院科技年报

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