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碳化硅晶体生长的分子动力学模拟研究

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摘要摘要本文使用分子动力学模拟方法，构建出了碳化硅晶体的生长模型，模拟研究了碳浓度、生长晶面以及生长温度对碳化硅晶体生长的影响。

DOI 7j6kmnzp40/3952718

作者刘新辉

机构地区河北同光晶体有限公司,河北保定071000

出处《科技新时代》 2019年3期

关键词碳化硅模拟晶体生长

分类 [医药卫生][]

出版日期 2019年03月13日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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科技新时代

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