高效通用连线等离子设备开发

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摘要 摘要:对现有等离子设备进行了系统性的分析,针对当前行业内高效连线plasma设备的短缺,进行了新设备方案的开发,对关键风险点进行DFMEA分析,并根据理论分析及ANSYS流体仿真分析对风险项进行了优化,开发风险显著降低,适合批量化导入。
出处 《科学与技术》 2021年12期
关键词
出版日期 2021年08月23日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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