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关于全自动半导体RCA清洗机的研究分析

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摘要摘要：当前，我国科技水平的提升，为制造业、工业等产品的研发与生产带来巨大影响，提供众多技术手段与便捷条件的同时，还能在工艺质量上加大控制力度，其中就包括全自动半导体RCA清洗机，其工艺是对硅片表面各类玷污去除，控制工艺质量的同时，还需对其功能、结构等要素综合分析，编制完善的作业方案，保证综合成效更突出。

DOI odw5l253dk/6992008

作者王云飞

机构地区身份证号码:32032319870712283X

出处《中国电业与能源》 2023年3期

关键词全自动半导体 RCA清洗机

分类 [][]

出版日期 2023年04月18日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

中国电业与能源

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