分子束外延技术在红外探测领域的应用

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摘要摘要：对于现代化战争而言，红外技术由于具有安全隐蔽、不易受干扰和保密性强等优点，已经成为不可缺少的关键技术。红外探测材料的发展决定了红外技术的发展水平，实现高性能和低成本的红外探测器技术，既是红外技术自身发展的必然也是一个国家现代化军事和国民经济发展的需求。分子束外延技术是一种在超高真空条件下的薄膜生长技术，在高温超导薄膜的研究、多元化合物半导体薄膜的生长等领域应用广泛，由于其生长的材料精准可控，生长环境清洁等优点，是红外探测材料生长的重要渠道。

DOI rj81lmwr40/7737358

作者李浩然王毅鹏程俊博薛嘉豪

机构地区上海航天电子技术研究所

出处《未知》未知

关键词分子束外延红外探测材料 VO2

分类 [][]

出版日期 2023年10月27日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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