摘要
摘要：随着我国经济社会的不断发展，电子科技技术的需要进一步提高，这和对相关大学生的教育课程密切相关。集成电路制造工艺作为电子及相关学科的一门核心课程，主要让学生了解集成电路的一般概念、制造方法和基本的集成电路芯片制作流程等知识，使学生掌握集成电路制造的关键工艺及其原理，为今后从事相关半导体集成电路设计工作打下坚实基础。该课程涉及的知识面广，对学生物理知识和数学知识的基础要求较高，并且具有很强的技术性和实践性，这需要大量的实践课程作为补充。但由于集成电路制造条件要求十分苛刻，制造设备昂贵，国内仅有几所院校能提供科研、教学用的集成电路工艺线。大部分院校开设的实验课只能完成基本的半导体平面工艺试验，如氧化、光刻和淀积等单项工艺，有些院校仅能开设理论课程。因此，如何在有限的教学条件下提高教学质量，是教学改革与探讨的重点。
出版日期
2023年11月03日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
