摘要
摘要:随着现代科学技术的不断发展,装备制造技术越来越先进,装备的结构也越来越复杂。因此,半导体设备维修技术面临着前所未有的挑战,同时也对半导体设备维修人员的经验提出了更高的要求。半导体设备后维护与预防性维护与预测性维护技术故障总结、相关分析,由于预测性维护技术作为一种新的发展方向,中心的维护技术已经成为一种维护与维护方法,与其他传统的新型维护方法相比,有更多的优点和优势,我们需要从空间和实用性上对其进行长远的发展。
出版日期
2023年12月21日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)