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半导体设备预测性维修技术分析

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摘要摘要：随着半导体产业的快速发展，半导体设备的运行效率和稳定性对整个产业链的影响日益显著。因此，半导体设备的维修策略也成为业界关注的焦点。预测性维修作为一种高效的维修方式，不仅能够降低设备故障率，提高生产效率，还能节省维修成本，延长设备使用寿命。

DOI zdl12e5224/8157888

作者曾信幸

机构地区贵州振华风光半导体股份有限公司贵州省贵阳市 550016

出处《工程管理前沿》 2023年21期

关键词半导体设备预测性维修技术分析

分类 [天文地球][工程地质学]

出版日期 2024年04月12日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）