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Fe3Si薄膜的制备和性能研究

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摘要介绍了Fe3Si的一些基本特性及Fe3Si薄膜的几种主要制备方法,重点介绍了分子束外延法中不同类型衬底、温度对Fe3Si薄膜形成的影响,并且分析了各种制备方法中的一些重要参数对薄膜结构及性质的影响。随着Fe3Si薄膜制备工艺的不断完善,Fe3Si薄膜将会成为一种性能优秀的自旋电子器件。

DOI 7j6q5gp040/928290

作者朱培强;张晋敏;郑旭;陈站

机构地区不详

出处《纳米科技》 2010年5期

关键词薄膜制备 Fe3Si薄膜自旋电子器件

分类 [一般工业技术][材料科学与工程]

出版日期 2010年05月15日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

纳米科技

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