简介：摘要本文通过对硼扩散过程中源量、推进温度和时间以及后氧化的优化，研究了其对掺杂表面浓度和结深的影响。优化后的硼扩散工艺，双面对称结构测试iVoc由673mV升高到685mV；J0由45fA/cm-2降低至22fA/cm-2。制成N型PERT双面电池后，电池的开路电压有8mV的提升，最终的转换效率有0.34%的提升。
基于BBr3液态源的硼扩散工艺优化研究
