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The Characteristics of Columniform Surface Wave Plasma Excited Around a Quartz Rod by 2.45 GHz Microwaves

简介：Anovelsurfacewaveplasma(SWP)sourceexcitedwithcylindricalTeflonwaveguidehasbeendevelopedinourpreviouswork.Theplasmacharacteristicshavebeensimplystudied.Inthiswork,ourexperimentaldevicehasbeensignificantlyimprovedbyreplacingtheTeflonwaveguidewithaquartzrod,andthenbettermicrowavecouplingandhighergaspuritycanbeobtainedduringplasmadischarge.Theplasmaspatialdistributions,bothinradialandaxialdirections,havebeenmeasuredandtheeffectofgaspressurehasbeeninvestigated.Plasmadensityprofilesindicatethatthisplasmasourcecanproduceuniformplasmainanaxialdirectionatlowpressure,whichshowsitspotentialinplasmaprocessingonacurvedsurfacesuchasaninnertubewall.Asimplifiedcircularwaveguidemodelhasbeenusedtoexplaintheprincipleofplasmaexcitation.Thedistinguishingfeaturesandpotentialapplicationofthiskindofplasmasourcewithahardwareimprovementhavebeenshown.
标签：表面等离子体波圆柱形激发微波特性石英 GHZ

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