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Measurement Method of the Thickness Uniformity for Polymer Films

简介：Severalmethodsforinvestigatingthethicknessuniformityofpolymerthinfilmsarepresentedaswellastheirmeasurementprinciples.Acomparisonoftheseexperimentalmethodsisgiven.Thecylindricallightwavereflectionmethodisfoundtocanobtainthethicknessdistributionalongacertaindirection.Itisasimpleandsuitablemethodtoevaluatethefilmthicknessuniformity.
标签：高分子膜厚度测量测量方法厚度一致性

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