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  • 简介:“磁控溅射离子镀膜技术产业化项目”是渐江省临安市2005年最大的一个外资项目,由浙江汇锦集团和英国梯尔公司合资组建而成的,由汇锦梯尔镀层科技有限公司负责实施。注册资本1200万美元,总投资35639万美元。据初步估计,该项目投产后,年销售收入为9.7亿人民币,可创税利1亿元以上。

  • 标签: 技术项目 离子镀膜 磁控溅射 临安市 有限公司 产业化项目
  • 简介:人造金刚石由于存在各种缺陷而使其抗压强度及热稳定性降低。本文利用离子束注入技术,对金刚石表面同时注入钛、氮离子来改善人造金刚石的性能进行了试验研究。结果表明:钛、氮离子进入金刚石的晶格后,起到了表面强化作用,并填补了金刚石晶体表面的缺陷,从而提高了金刚石的抗压强度和热稳定性,也使体现孕镶金刚石复合材料的抗弯强度和磨耗比有了较大幅度的提高。

  • 标签: 人造金刚石 性能 试验研究 离子注入
  • 简介:CVD金刚石可以用各种方法合成,其中晶粒生长速度最快的则为热等离子体CVD工艺。我们试验室过去曾试图用DC等离子体CVD工艺合成金刚石厚膜,并就膜与基底的附着强度和膜的性质作过探讨。但是,热等离子体工艺存在沉积面积和膜质量都不如其它CVD工艺等问题。CVD金刚石薄膜应用中对扩大沉积面积有着强烈的需求。本研究试图通过控制沉积压力、输入功率等沉积参数扩大等离子体直径,以沉积出大面积金刚石薄膜。我们的目的是利用热等离子体CVD工艺沉积出生长速度高、面积大且膜厚均匀的金刚石薄膜。同时探讨了合成条件对金刚石薄膜形状的影响。本研究得出的结果如下:(1)随着沉积压力的降低,金刚石晶粒尺寸减小,成核密度增加。金刚石的结晶性则几乎不受沉积压力的影响。(2)随着等离子体电流的增加,金刚石晶粒尺寸减小,成核密度增加。增加等离子体电流也可改善金刚石的结晶性。(3)降低沉积压力和增加等离子体电流均可扩大等离子体射流,但是金刚石沉积面积的变化并不明显。(4)随着沉积压力的降低和等离子体电流的增加,金刚石的结晶性均会增加。降低沉积压力和增加等离子体电流有利于改善金刚石薄膜的均匀性。

  • 标签: 工艺 合成金刚石 沉积 合成 成核密度 结晶性