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  • 简介:在半导体制造工业中,参数测试作为有效的对在线制品的监控手段,一方面反映了工艺线的工艺水平状况,另一方面它也是制造公司与设计公司之间进行沟通的主要依据。而对于新工艺研发来说,参数测量及分析更是整个研发过程中极其重要的一部分,及时准确的参数测量结果是产品工程师快速作出工艺研发方向的判断依据。因此,芯片参数测量分析的主要作用在于:在工业生产中得到大量的测量数据,用于评价工艺设备、半导体材料和电路结构,监视和控制工艺和器件参数的均匀性、重复性、协调性,分析工艺中存在的缺陷,诊断电路性能失常规律,预测成品率,预报可靠性信息等等。文章主要介绍了运用参数测试对在线工艺异常进行可靠性评估的方法。

  • 标签: 参数测试 可靠性 高温 应力
  • 简介:摘要随着科学技术的不断创新和发展,火电厂烟气脱硫脱硝一体化技术得到了有效的发展,同时也成为当下烟气污染治理的重要措施之一,但是部分技术由于水平较低,成本消耗过高,导致很多技术得不到有效的应用,所以,要加大对相关技术的探究力度,解决技术中存在的缺点,为环境治理贡献力量。

  • 标签: 火电厂 脱硫脱硝 一体化技术
  • 简介:摘要就目前我国的电力企业来看,其发电的能源多来自于火力发电,而由于火力发电对环境的污染非常大,和我国的环境保护政策有一定的冲击,尤其是其中的烟尘以及粉尘和废水等。

  • 标签: 火电厂 烟气脱硫脱硝 一体化技术