学科分类
/ 1
6 个结果
  • 简介:用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法,在接近常压状态下,在氩气(Ar)和氢气(H2)的气氛中,以硅烷为源气体,在沉积区域加载脉冲负偏压对沉积过程进行调节,在基片上沉积得到具有荧光特性的含有Si纳米晶颗粒的SiOx薄膜,并在原气氛(Ar+H2)中进行退火处理,SEM、TEM、FTIR、PL显示,退火后薄膜的网格结构被破坏,颗粒性更加明显,化学成分中Si—H减少,Si-O-Si增加,同时有少量si纳米晶粒析出,退火后的薄膜发光峰出现大幅蓝移,发光基团趋于单一,这与Si纳米晶粒的出现相对应。

  • 标签: 退火 Si纳米晶粒 红外光谱 荧光光谱
  • 简介:使用分子束外延(MBE)技术生长Be掺杂的GaAs膜层,在此基础上,制备Au/GaAsSchottky二极管.另外,在Au与GaAs之间用原子层沉积技术(ALD)插入一层MgO绝缘层,研究不同掺杂浓度的GaAs对势垒高度及影响因子的影响,实验结果表明,Au/MgO/GaAs结构的肖特基势垒,随着掺杂浓度的升高而增大,影响因子呈现先降低后增加的趋势.

  • 标签: Be掺杂GaAs GaAsMIS结构 I-V 肖特基势垒高度 理想因子
  • 简介:基于密度泛函理论的第一性原理,结合广义梯度近似,对Mg、Al不同浓度掺杂的ZnO进行能带结构、电子态密度以及光学性质的研究,结果表明,由于Mg原子电子分布和Zn原子的差异,Zn-4s向高能端偏移,而价带基本保持不变,使得禁带宽度增大。由于Al的价电子比Zn多一个,掺杂Al使ZnO成为n型掺杂半导体,导致Zn0的导电性增大。从对二者的光学性质的分析可以看出,掺杂Mg后并没使ZnO的吸收谱的吸收边发生明显的移动,而掺杂Al使ZnO的吸收边向短波方向移动,发生了蓝移现象。

  • 标签: 第一性原理 电子结构 光学性质
  • 简介:采用PECVD(等离子体增强化学气相沉积)技术在不锈钢或玻璃衬底上制备微晶Si(硅)薄膜,研究沉积温度对PECVD法所制备的微晶硅薄膜性质的影响。从实验结果中可以看出,随着沉积腔内沉积温度的不断升高,微晶硅薄膜晶化率、晶粒尺寸在200-400℃范围内不断增加。当沉积温度为400℃时,薄膜的晶化率、晶粒尺寸得到显著提高,当沉积温度超过500℃时,薄膜的晶化率、晶粒尺寸反而略有下降。在本实验室条件下,沉积温度为400℃时十分有利于硅薄膜由非晶硅转化为微晶硅。

  • 标签: PECVD 沉积温度 微晶硅薄膜 晶化率 晶粒尺寸
  • 简介:建立了复合铁电薄膜的理论模型,具有不同相变温度的铁电组分垂直于极化方向进行复合,引入局域分布函数描述不同组分间过渡层的性质,采用Ginzburg-Landau-Devonshire(GLDI)唯象理论展开研究。通过改变复合铁电薄膜的组分数量(2种和3种),主要研究了复合铁电薄膜的极化、相变及热释电性质,并与均匀铁电薄膜的相关性质进行对比。研究表明组分数量的变化对铁电薄膜的相变和热释电性质有着重要的影响。2组分复合而成的铁电薄膜与均匀铁电薄膜一样都只出现1个热释电峰,而3组分复合而成的铁电薄膜随着温度的变化出现了2个热释电峰。2组分薄膜的热释电峰和3组分薄膜中的1个热释电峰峰值较均匀铁电薄膜的热释电峰的峰值有所升高。

  • 标签: 铁电薄膜 自发极化 相变温度 热释电系数
  • 简介:2015年全国“会”期间,雾霾问题成为代表和委员热议的问题之一同样,新能源汽车的话题也成为“会”上热议的焦点“会”的政府工作报告传递出的信号表明,汽车行业必须要着力发展新能源汽车、在政府治理环境的空前决心下,新能源汽车将迎来重大发展机遇,成为驱散雾霾的重要举措.

  • 标签: 新材料 新能源汽车 声音 政府工作 汽车行业 治理环境