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  • 简介:摘要半导体设备是芯片制备的载体,多用铝合金作腔体。本文以铝合金腔体出现的水路堵塞、腐蚀现象为研究对象。通过水路堵塞、腐蚀现象的状态展示,扫描电镜的化学成分分析及堵塞颗粒物成因模拟实验,探索、找寻堵塞、腐蚀现象的成因及解决办法。实验及分析结果表明因铝本身的化学活性易与多种材料(铜、铁、镍等)发生化学乃至电化学反应,以致形成颗粒状氧化物造成材料表面腐蚀及管路堵塞。

  • 标签: 半导体设备 水路 颗粒 堵塞
  • 简介:摘要某厂600MW级机组运行过程中出现真空偏低的现象,尤其是夏季带高负荷时更为严重。本文总结将双背压凝汽器抽真空方式由串联改为并联后凝汽器真空提高产生的经济效益,目的是解决凝汽器真空偏低,调节级超压,汽轮机节能等问题,为同类型机组改造提供参考依据。

  • 标签: 凝汽器 双背压 串联抽气 并联抽气 节能
  • 简介:摘要铝合金门窗以及玻璃幕墙作为房屋建筑设计的外围形式之一,由于其性能较好,本身有美观耐用和回收利用率高的特点,符合建筑环保节能的要求,目前被普遍使用。然而铝合金门窗以及玻璃幕墙在使用过程中出现许多质量问题,一定程度上降低了建筑物的品质。因此,本文结合现阶段常见的一些质量问题,简要分析玻璃幕墙及铝合金门窗的质量控制要点。

  • 标签: 玻璃幕墙 铝合金门窗 质量控制