简介：摘要：集成电路芯片制造业是目前世界上技术先进、竞争激烈的行业之一。在芯片制造过程中，高纯度、高洁净度的特殊气体是必不可少的原料，如何将这些特种气体安全、洁净地输送到生产所需的机台中供其使用是当前研究的重点。文章对集成电路制造工厂内特种气体供应系统深化设计、施工工艺和验收前的质量检测进行了研究，对特种气体管道供应系统中应重点关注的内容进行了论述，希望为相关研究人员提供参考。
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