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  • 简介:低压化学淀积(LPCVD)设备主要为微电子机械系统(MEMS)在硅基片上淀积Si3N4、Poly-Si(多晶硅)、SiO2薄膜。承担形成微传感器和微执行器的抗蚀层、结构层和牺牲层的加工任务。是MEMS技术中的主要生产工序之一,也可以用于集成电路钝化膜制备。

  • 标签: 低压化学气相淀积 微电子机械系统 硅基片 二氧化硅薄膜
  • 简介:自上个世纪七十年代以来,加速器技术在放射性核素丰度分析方面取得了巨大的成绩,特别是一些半衰期较长的放射性核素,例如10Be、14C、26Al、36Cl、129I,这些放射性核素可以被利用到生物,考古学,地质学等一系列领域。随着年代的发展,加速器质谱仪的体积和能量都经历了由大到小的变化,本文就国内外加速器质谱仪的发展过程,结合广西师范大学正在筹建的桌面化加速器质谱仪,为大家阐述加速器质谱仪的发展过程及部分应用。

  • 标签: 加速器质谱仪 小型化 应用
  • 简介:锂作为最轻的金属元素,在测量中会发生显著的同位素分馏效应。国内外有关锂同位素的谱分析研究,多针对的是地质、环境、宇宙学等领域,测定的样品中锂含量都在微克以上量级。针对特殊要求,需要发展纳克量级的痕量锂谱分析技术。

  • 标签: 锂同位素 质谱测量 高精度 质谱分析技术 同位素分馏效应 金属元素
  • 简介:纳米金刚石薄膜的沉积实验在自行研制的热丝化学沉积系统上完成。基体为金刚石微粉研磨和酸蚀后的硬质合金片,反应气体为CH4和H2混合,V(CH4):V(H2)=1%-4%,基体温度800-1000℃,沉积时气压为0.8~2.0kPa。SEM观察表明,影响金刚石膜的表面形貌及粗糙度的关键参量是基体温度、反应气压及含炭气体的浓度,这些参数都会影响到薄膜的纯度、结晶习性和晶面完整性。沉积纳米金刚石薄膜工艺是通过高密度形核以及抑制金刚石膜在沉积过程中的晶粒长大来实现的。

  • 标签: 化学气相沉积系统 纳米金刚石薄膜 热丝法 反应气体 基体温度 金刚石膜
  • 简介:通过分析液两在多孔介质中的相互作用过程,建立了一套描述两多组分非等温渗流的数学模型。所建立的控制方程中,既包括对流、弥散和源汇作用,也包括非达西流动、水气转变以及辐射传热等高温高压环境下的特殊物理过程。提供了一套完整的使控制方程封闭的本构关系,并推导了比能和比焓的计算公式。利用本文模型对地下爆炸气体的迁移过程进行了数值模拟。结果表明:与渗流模型相比,该模型可以更合理地描述气体在地质介质中的输运行为。

  • 标签: 两相渗流 非等温流动 数学模型 本构关系 气体输运
  • 简介:以TiC14为源物质采用常压化学沉积法制备了TiO2薄膜。用紫外光谱测定了膜的透过率,进而计算出折光率、消光系数、光学带隙能等光学参数。结果发现,在不同气流量、沉积温度为100~250℃的条件下制备的TiO2膜,其折射率在2.16~2.82范围内,消光系数在0.04×10-3~6.70×10-3范围内,光学带隙能在2.8~3.08eV范围内。在光催化作用下,TiO2膜用于处理苯酚溶液,苯酚的转化率高达54.05%。关键词##4化学沉积(CVD);沉积率;折光率;消光系数;光催化更多还原

  • 标签: 化学气相沉积(CVD) 沉积率 折光率 消光系数 光催化
  • 简介:介于窄带和超宽之间的宽电磁脉冲系统,具有许多独特的优点:系统结构紧凑,容易做到小型化;辐射频谱宽、易于和目标耦合;具有载频,天线辐射效率高。为此,宽电磁脉冲系统具有很强的隐蔽性、突然性和多目标性。研究工作突破了快上升时间重复频率高压产生技术、宽脉冲形成技术和宽高功率天线技术等关键技术,研制了我国首套宽电磁脉冲试验系统,并开展了针对轩逸、富康等具有代表性汽车的宽电磁脉冲迫停效应实验。

  • 标签: 试验系统 超宽谱 电磁脉冲 车辆 脉冲系统 产生技术
  • 简介:高功率超宽(uwB)源是高功率微波源的一种,其辐射的超宽电磁脉冲体现出宽频带特性,在军事和民用领域具有广泛应用前景,美国和俄罗斯等都高度重视高功率超宽脉冲技术的研究和开发。

  • 标签: 高功率微波源 脉冲技术 超宽谱 电磁脉冲 宽频带 俄罗斯
  • 简介:本文从分析双T网络虚地输出端着手,借助串/并联等效变换,给出双T网络的电压/电流量图和阻抗图;引入对称化处理概念;界定了双T网络的实际输入阻抗;建立了完备的阻抗方程组,并做了按指定输入阻抗设计电路的示范。

  • 标签: 虚地 电压/电流相量图 阻抗分界线 实际输入阻抗
  • 简介:时尚是神秘与暧昧的,炫目的T台光影中,男人对于时尚的新奇和女人博爱的追随,

  • 标签: 服装 搭配方法 时尚性 皮草
  • 简介:针对表面高度均方根(RMS)难以描述大尺度波动以及刚体位移鲁棒性差的缺点,提出了使用功率(PSD)对大口径望远镜系统中主反射镜面形进行评价;结合Zernike多项式,对PSD的分解运算进行了分析,讨论了Zernike多项式的频谱能量分布;将该方法用于Φ500mm反射镜面形检测数据的处理,得出实际反射镜表面面形频域能量分布情况。结果表明:对于大口径反射镜,使用PSD的评价方式对于指导加工检测以及望远镜系统误差的分配具有更实用的意义。最后,基于PSD提出了一种评价反射镜面形的子孔径非相关拼接方法,该方法适用于大口径望远镜中大口径光学元件的面形精度评价。

  • 标签: 表面面形评价 反射镜 大口径 功率谱 ZERNIKE多项式 子孔径拼接
  • 简介:对脉冲堆而言,在无强吸收介质时,堆外任何一点的中子可近似地由热中子、1/E和裂变叠加而成。根据这一原理,利用包镉的^235U转换靶和裸^235U转换靶在固体径迹探测器上产生的裂变径迹数差,确定热中子(镉下中子);用包镉的^235U转换靶和^238U转换靶在固体径迹探测器上产生的裂变径迹数差,获得1/E和裂变

  • 标签: 快中子堆 中子谱 测量方法 固体径迹探测器 裂变径迹
  • 简介:在中微子实验不断取得进展,量子场论找到其预言的最后一个粒子——希格斯子的今天,回顾它们的缘起β衰变能量连续的发现历史,既为了纪念这段历史,也为了可以从中讨论关于物理学的研究线路具有不明确性、物理学的研究发现与研究者流动的相关性、物理学的发现需要适当的思想准备和物理学研究时做些哲学反思的必要性等方面获得启示。

  • 标签: Β衰变 能量连续谱 发现 证实 启示
  • 简介:介绍了辐射模拟加速器辐射场中脉冲X射线能的几种常用测量方法,阐述了基本原理、测量装置的典型系统组成、主要参数特性、技术发展状况和研究进展,描述了各种方法的优缺点和适用范围。以吸收法为例,综述了解技术的发展状况,并描述了多种解方法的特点。最后,重点介绍了西北核技术研究所脉冲X射线能测量的进展,并对测量系统抗噪和散射控制技术进行了评述。结合现有条件和技术成熟度,对今后工作的发展方向进行了展望。

  • 标签: 脉冲X射线 能谱 吸收法 解谱方法
  • 简介:通过对长周期光纤光栅模式耦合机理和长周期光纤光栅透射特点的详细分析,给出了仿真薄膜长周期光纤光栅透射的解决方案。该方案从大量的波长抽样点中选择那些对耦合有贡献的抽样点来计算,并且对每一抽样点只计算最有效的模次的耦合,可以在保证模拟的正确性的前提下最大限度地减少长周期光纤光栅透射仿真的计算量。以振幅掩模法(芯层折射率分布近似为矩形分布)写制的薄膜长周期光纤光栅进行了数值研究,研究中考虑了材料色散对导模和包层模式折射率的影响。研究结果表明,该方案能极大提高仿真速度。

  • 标签: 长周期光纤光栅 谐振波长 带宽 透射谱
  • 简介:氢同位素研究中,D/H比值是掌握氢同位素丰度变化规律的关键参数,但是低于天然氘丰度(1.4×10^-4)的气体没有成熟的测量技术可以应用,为此,开展了低于天然D丰度氢样品(以下简称贫氘氢)的色谱测量技术研究。

  • 标签: 同位素丰度 氢同位素 测量技术 天然 色谱 样品
  • 简介:一直以来,主要采用重量法测定BHP(Basichydrogenperoxide)废液中氯化钾的浓度,一般要经过酸化、蒸发、烘干至称重才能得到分析结果,耗时长,操作繁琐。离子色谱法测定常见阴离子(F^-,Cl^-,NO3^-,SO4^2-等)以简便、快速、灵敏而著称,如果将离子色谱法引入BHP废液的分析,无疑将大大减少工作量,节约工作时间,提高工作效率。但是BHP废液碱性很强、过氧化氢浓度较高并且含有机稳定剂,必须预先进行样品前处理。实验采用电炉加热、灼烧分解,C18过滤有机物的前处理方法,

  • 标签: 离子色谱法 Cl^- BHP 废液 测定 SO4^2-
  • 简介:研制了一台小型超宽高功率微波辐射系统,该系统由Tesla型100kV级ns脉冲源、Peaking-chopping型亚ns气体开关及TEM喇叭天线构成.系统重复运行频率为100Hz,辐射因子rEp值为75kV,主轴辐射场中心频率为520MHz,-3dB频谱范围为230~810MHz.系统集成于一便携箱内,体积为80cm×50cm×26cm,重量约45kg.该系统结构紧凑,能够快速展开和撤收,可方便用于超宽高功率微波应用技术研究.

  • 标签: 超宽谱 高功率微波 TESLA变压器 天线 辐射因子
  • 简介:新型XRD不论是响应特性,还是外形体积,都必须满足仪小型化的要求。其次,需考虑色散元件,仪仍采取滤波法。由于三倍频打靶M带辐射强度大幅度提高,高能尾部对输出信号的贡献很大,所有探测道都必须抑制高能尾部,用掠入射平面镜截止的能量就更高。用平面镜截止高能X射线的途径:一是平面镜使用高原子序数材料,二是减小掠射角。

  • 标签: X光能谱 能量精密测量 线谱诊断 滤波法 X光能谱仪
  • 简介:报道了软X光能诺仪探别元件的能量响应曲线标定工作.实验利用北京同步辐射装置-3W1B束经及反射率计靶室,在束流40—80mA、贮存环电子能量2.2GeV专用光运行模式下,在150—1500eV能区的四个能段,做了铝阴极X射线二权管、滤光片及擦入射平面反射镜能量响应标定实验,通过实验数据比对及分析,最终给出X射线二极管在不同能量段最大可能的测量误差范围。

  • 标签: 驱动惯性约束聚变 ICF 软X光能谱仪 探测元件 能量响应曲线 同步辐射