简介：摘要本文阐明了蚀刻所用的氯化铁液实现资源化与绿色再生的工艺流程，并研究了氯化铁液实现资源化与绿色再生的工艺装备，以便于在实践操作期间能够充分发挥该项工艺与装备应用优势，切实地对蚀刻所用的氯化铁液实现资源化与绿色再生处理。
蚀刻用氯化铁液资源化绿色再生工艺及其装备分析
