简介：研究表明含氟气体的性质决定了原子氟（F）的转化效率,通常在CxFy气体中x的值越大,氟（F）的转化效率也就会越高。所以C3F8（八氟丙烷）比C2F6（乙氟烷）具有更高的利用效率,更少的PFC（全氟化物）的排放。文章主要研究在以四乙氧基硅烷（TOES）为基础的离子增强化学气相沉积（PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition,PECVD）的清洗制程中,利用分解效率高的C3F8气体取代C2F6气体。通过实验设计（DesignOfExperiment,DOE）,调整腔体压力、射频（RF）功率、气体流量等参数,最终得到最优化的新清洗配方。应用到实际的量产中,有效地降低了成本,减少了PFC的排放。

简介：在这份报纸，消极地切换Q、锁模式的c切割在1.17m的做Nd的vanadate水晶self-Raman激光被使用Cr第一表明<啜class=“a-plus-plus”>4+:YAG。Nd的二晶体<啜class=“a-plus-plus”>3+:YVO4和Nd<啜class=“a-plus-plus”>3+:GdVO4被采用分别地产生激光。与13W的事件泵力量，在1.17m的678mW和852mW的平均产量力量分别地与1.8ns和2ns的切换Q的信封的持续时间被获得。锁模式的重复率分别地象2.3Hz和2.2GHz一样高。根据我们知道，切换Q的信封是最狭窄并且锁模式的重复率是最高目前在这块地里。另外，黄激光输出被使用解放也完成<潜水艇class=“a-plus-plus”>3O<潜水艇class=“a-plus-plus”>5频率加倍水晶。