简介:变栅距光栅位移传感器传感部分反射的衍射光中心波长是由微型光谱仪进行解调的。为了解决传感器系统目前所用的微型光谱仪体积较大、成本高且针对性不够强等问题,本文对该传感器的信号解调部分进行了分析,并对其内部光路进行优化,制作了一个与传感器配套的微型光谱仪,光学分辨率为2nm。实验结果表明,用该光谱仪解调变栅距光栅位移传感器的信号时多次重复测量的位移差在0.08ram以内,传感器有着较好的重复性;且位移误差小于0.3mm,最大引用误差小于0.5%,满足设计指标。
简介:摘要在这个科技高速发达的现代社会中,人类已进入了瞬息万变的时代,而作为在日常生活中的重要传感工具——“传感器”,也已全面的进入了我们的生活。传感器是一种检测装置,能够检测到被检测物的信息,并能将检测到的信息,按照一定规律变换成为电信号或者其他所需形式的信号输出,以满足信息的传输,处理,存储,显示,记录和控制等要求。而在如今时代,传感器技术作为信息技术的三大基础之一,是当前各发达国家以及发展中国家都相继去发展的高技术,是21世纪以来优先发展的十大顶尖技术之一,所以相应的,传感器技术所涉及的知识领域非常广泛,并且在人们的生活中也占有的分量越来越重了,而其相应的它与其他科学技术之间的发展也越发的紧密。