简介：摘要:伴随着集成电路行业的兴起，这几年金刚线多线切割机应运而生，已经被广泛的应用在单晶硅片的切割中，这种切割对单晶硅棒粘接的要求也是越来越严格。无论从晶向定位、位置固定和粘接的强度等诸多方面都提出具体的要求和标准，所以硅棒的粘接操作在单晶硅片加工工序中显得尤为重要。
硅棒粘接过程控制的研究
