简介:针对"FBAR(薄膜体声波谐振器)-梁"结构悬臂梁厚度不足、"嵌入式FBAR"结构微加工工艺复杂的缺点,提出了新型"膜片上FBAR(FBAR-on-diaphragm)"结构的微加速度计。其弹性膜片由氧化硅/氮化硅复合薄膜构成,既便于实现与硅微检测质量和FBAR的IC兼容集成加工,也利于改善微加速度计的灵敏度和温度稳定性。对由氧化硅/氮化硅双层复合膜片-硅检测质量惯性力敏结构和氮化铝FBAR检测元件集成的膜片上FBAR型微加速度计进行了初步的性能分析,验证了该结构的可行性。通过有限元模态分析和静力学仿真得出惯性加速度作用下膜片上FBAR结构的固有频率和弹性膜片上的应力分布;选取计算所得的最大应力作为FBAR中压电薄膜的应力载荷,结合依据第一性原理计算得到的纤锌矿氮化铝的弹性系数-应力关系,粗略估计了惯性加速度作用下氮化铝薄膜弹性系数的最大变化量;采用射频仿真软件,通过改变惯性加速度作用下弹性常数所对应的纵波声速,对比空载和不同惯性加速度作用下加速度计的谐振频率,得到加速度计的频率偏移特性和灵敏度。进一步分析仿真结果还发现:氧化硅/氮化硅膜片的一阶固有频率与高阶频率相隔较远,交叉耦合小;惯性加速度作用下,谐振频率向高频偏移,灵敏度约为数kHz/g,其加速度-谐振频率偏移特性曲线具有良好的线性。
简介:摘要长期以来,电力系统谐振过电压严重威胁着电网的安全。特别是对中性点不接地系统,铁磁谐振所占的比例较大。随着电网的日益发展,中性点直接接地系统的铁磁谐振问题越来越严重,出现的概率也越来越大。近年,在滨州电网发生过多次铁磁谐振引起过电压的案例,应引起高度重视。本文将介绍产生铁磁谐振的机理、原因、现象以及应采取的措施。
简介:摘要本文以南方电网百色串补为研究对象,先对电网采用静态等值法进行等值简化,然后采用时域仿真法进行次同步谐振分析,并通过TCSC主电路参数的选择和基于相位补偿法的TCSC附加阻尼控制器设计来有效抑制次同步谐振。