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Design and Simulation of Silicon-based NiCrAu MEMS Torsion Micromirror with Tilted Back-electrode

简介：Torsionmicromirrorisakeystructureofopticaldevicesinmicro-electro-mechanicalsystem(MEMS),suchasMEMSopticalswitches,MEMSvariableopticalattenuator,MEMSscanningmicromirrorarrayandsoon.Asilicon-basedNiCrAuMEMStorsionmicromirroristheoreticallyanalyzed.Itisshownthatinordertohave15°rotation,thedrivenvoltageshouldbeabout20Vandthethicknessofthesupportingbeammustbecontrolledintherangeofsubmicronordersofmagnitude.Thisverythinbeammakesthestructuremoreunstableandunreliable,andalsomakesthefabricationmorecomplicated.Basedonparallelback-electrodeanalysisandtesting,atiltedback-electrodehasbeendesignedtoreplacetheparallelback-electrodeinordertodecreasethedrivenvoltageanddifficultyoffabricatingprocessing.Bytheoreticalanalysisandsimulation,aconclusioncanbedrownthatthethicknesscanbeimprovedfromsubmicrontomicronbyusingtiltedback-electrodewhenusingthesamedrivenvoltage.Tiltedback-electrodeisveryeffectivetoimprovethestabilityandreliabilityofthemicromirrorstructure.
标签： MEMS NiCrAu 显微镜倾斜背面电极

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