微晶硅薄膜小角X射线散射研究-中国期刊网

摘要用小角X射线散射（SAXS），Raman谱，红外透射谱等研究高氢稀硅烷热丝法（HWCVD）制备氢化微晶硅膜微结构，结果表明微晶硅的大小及在薄膜中的晶态比随氢稀释度的提高而增加。SAXS表明薄膜致密度随氢衡释度的增加而增加。结合红外谱和SAXS的结果讨论了不同相结合下硅网络中H的键合状态。认为在非晶硅膜中H以SiH键为主，在微晶硅膜中H以SiH2为主且主要存在于晶粒的界面。

1李志宏;吴东;孙予罕;赵辉;董宝中. 小角X射线散射中的干涉效应.核技术及应用,2002-01.
2李志宏;吴东;孙予罕;王俊;柳义;董宝中;柳. 小角X射线散射模糊数据解析方法.物理,2001-02.
3李志宏;柳义;等. 用小角X射线散射法研究溶胶结构.核技术及应用,2000-01.
4赵辉;李志宏;吴忠华;董宝中. 小角X射线散射实验数据的初步处理.核技术及应用,2002-01.
5李志宏;王俊;等. 小角X射线散射研究介孔分子筛结构.核技术及应用,2000-01.
6陈波;夏庆中;曾贵玉. TATB钝感炸药的小角X射线散射实验.物理,2003-01.
7李志宏;王俊;等. 小角X射线散射中Porod正偏离的校正.核技术及应用,2000-01.
8李志宏;巩雁军;吴东;孙予罕;王俊;柳义;董宝中. 小角X射线散射法测定溶胶平均界面厚度.物理,2001-02.
9徐耀;李志宏;范文浩;吴东;孙予罕;王俊;董宝中. 小角X射线散射法研究甲基改性氧化硅干凝胶的孔结构.核技术及应用,2002-01.
10徐耀;李志宏;范文浩;吴东;孙予罕;王俊;董宝中. 小角X射线散射法研究甲基改性氧化硅凝胶的双分形结构.核技术及应用,2002-01.

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