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本征微晶硅薄膜的激活能特性研究

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摘要利用激活能测试装置测量了VHF-PECVD高速沉积的本征微晶硅薄膜的激活能，结果表明，在不同沉积条件下制备的本征微晶硅薄膜的晶化处于非晶一微晶相变域附近，激活能都偏低，存在氧污染问题．给出了氧污染解决途径．

DOI ojzpg5le45/1111146

作者陈庆东;王俊平;马国利

机构地区不详

出处《滨州学院学报》 2011年6期

关键词 VHF-PECVD 微晶硅激活能

分类 [文化科学][教育学]

出版日期 2011年06月16日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

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