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衬底表面预处理增强金刚石薄膜成核的研究进展

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摘要近年来与金刚石成核有关的技术研究取得了较大的进展.本文综述了衬底表面的预处理对增强利用化学气机沉积生长金刚石薄膜成核的作用,并进行了分析和讨论.

DOI 7j67rrn7d0/2135190

作者王爱琴;王必本;党纯

机构地区不详

出处《平原大学学报》 2001年2期

关键词金刚石薄膜合成成核衬底表面预处理化学气相沉积

分类 [文化科学][高等教育学]

出版日期 2001年02月12日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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