SEMI标准在半导体制造设备中的应用

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摘要 摘要:随着半导体技术的飞速发展,SEMI标准在半导体制造设备中的应用越来越广泛。本文详细介绍了SEMI标准的基本概念、发展历程以及在半导体制造设备中的具体应用。通过对SEMI标准在材料、设备、测试及安全等方面的深入剖析,阐述了SEMI标准对于提高半导体制造效率、保证产品质量以及确保生产安全的重要性。文章还探讨了SEMI标准在半导体产业发展中的未来趋势,以及中国半导体产业应如何更好地利用SEMI标准来提升自身竞争力。
机构地区 120102197904080910
出处 《中国科技信息》 2024年4期
关键词
出版日期 2024年04月17日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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