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半导体制造设备保养策略优化与维修作业间隔决策

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摘要摘要：本文探讨了半导体制造设备的保养策略优化和维修间隔决策问题。通过分析定期保养、状态基于保养、使用基于保养等不同保养策略的优缺点,指出未来保养策略需要在运用设备状态数据分析的基础上进行差异化制定。在维修间隔决策方面,提出了综合考虑设备状态、重要性、历史维修数据等因素,建立动态调整机制的策略。这些科学化的保养与维修决策对于提高半导体制造效率具有重要意义。

DOI pj0y166xdy/7650675

作者薛文卿顾梦星

机构地区无锡中微掩模电子有限公司江苏省无锡市 214000

出处《工程管理前沿》 2023年12期

关键词半导体制造设备保养策略优化

分类 [天文地球][工程地质学]

出版日期 2023年10月14日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）