罩式退火炉黑斑缺陷分析及防范措施

(整期优先)网络出版时间:2013-04-14
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针对罩式炉产生批量黑斑缺陷,本文对产生黑斑的机理进行了详细的分析,并提出了改进的措施。同时对采取措施前后黑斑缺陷率进行了对比,验证了措施的有效性。