O433.42001031602椭偏光谱及在离子注入硅损伤研究中的应用=SpectroscopicellipsometryanditsapplicationstostudyofradiationdamageformedbyionimplantationintoSi[刊,中]/阳生红,莫党(中山大学物理系.广东,广州(510275))∥半导体技术.-2000,25(5).-33-37介绍了椭圆偏振光谱的原理,给出了椭偏仪在离子
中国光学
2001年3期
