O439705348913单元双压电晶片变形反射镜主要性能参数的测试=Measurementofsomeimportantparametersof13—segmentbimorphdeformablemirror[刊,中]/曹根瑞,杨强(北京理工大学.北京(100081))∥光学技术.—1996,(4).—25—29介绍了自适应光学用13单元双压电晶片变形反射镜原始面形。δ—V曲线、频响特性曲线、静态影响函数矩阵等几个主要性能参数的测试方法和结果。从δ—V曲线得出了电压灵敏度和非线性滞后系数,从影响函数矩阵反演出了控制电压矩阵,利用这些结果校正了变形镜的原始面形,得出了一些重要的结论。图6参
中国光学
1997年5期
