简介：全面垂直层流洁净室气流组织的三个参数(不均匀性NU、通风效率Ea、流线平行度)影响着芯片的成品率.本文从以下方面论述了洁净室的气流组织的影响因素:送风方式、洁净度不同的速度介面、洁净室内设备及操作人员、洁净室的地板和盲板、灯具、缝隙等,为以后的精确分析洁净室的洁净度和对洁净室的气流组织优化提供帮助.
简介：2015年1月8日,国家发展和改革委员会在其官方网站发布消息称,为落实国务院《2014-2015年节能减排低碳发展行动方案》、《关于加快发展节能环保产业的意见》和《大气污染防治行动计划》,七部委（国家发展和改革委员会、财政部、工业和信息化部、国家机关事务管理局、国家能源局、
全面垂直层流洁净室气流组织影响因素探讨
七部委印发实施方案,能效“领跑者”制度终落地
