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  • 简介:金刚石膜作为光学镀层时,应力的控制是一项关键技术,本文实验研究了金刚石膜和类金刚石膜作为光学镀层材料时的应力特性,并对此进行了分析.

  • 标签: 金刚石膜 光学镀层 MPCVD PLD