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《光学与光电技术》
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金刚石薄膜光学镀层材料的应力特性研究
金刚石薄膜光学镀层材料的应力特性研究
(整期优先)网络出版时间:2003-01-11
作者:
王小兵;程勇;吕反修;王古常;孙斌;吝君瑜;杨武保
机械工程
>光学工程
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资料简介
金刚石膜作为光学镀层时,应力的控制是一项关键技术,本文实验研究了金刚石膜和类金刚石膜作为光学镀层材料时的应力特性,并对此进行了分析.
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金刚石膜作为光学镀层时,应力的控制是一项关键技术,本文实验研究了金刚石膜和类金刚石膜作为光学镀层材料时的应力特性,并对此进行了分析.
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光学与光电技术
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