简介:摘要:伴随着摩尔定律的发展,集成电路(以下简称IC)的发展经历了从小规模集成电路(SSI)、中规模集成电路(MSI)、大规模集成电路(LSI)、甚大规模集成电路(VLSI) 直至今天的超大规模集成电路(ULSI)、巨大规模集成电路(GSI)。根据国际半导体技术路线图(ITRS)的规定,集成电路工艺水平是通过技术节点来衡量。技术节点通常以晶体管的半节距 (half-pitch) 或栅极长度(gatelength)等特征尺寸(CD,critical dimension)来表示 。在进入 ULSI 时代以后,横向空间的饱和,促使 IC 制造向垂直空间发展;向垂直空间发展的思路促使多层金属互连技术的出现。而多层金属互连技术的出现导致 IC 制造过程中不可避免的在层与层之间产生台阶,层数越多表面起伏愈加明显。明显的表面起伏主要有两方面的影响产生,一方面金属布线中容易导致断线、短路、断路,另一方面导致光刻时对线宽失去控制。
简介:为解决传统的气囊抛光操作都需要工件CAD信息所引起的抛光效率低下、操作复杂等问题,现将一种能够在线自动重构工件几何信息技术应用到机械臂气囊抛光系统中。介绍了抛光工件未知曲面在线重构的操作方法,从而获取工件未知曲面的法矢量,提出了抛光气囊头与工件未知曲面接触力的主动控制方案,将传统的力/位并行控制算法模拟人的大脑,试着去识别工件表面的几何变化趋势,建立了具有时变约束的在线最优轨迹规划算法。通过在机械臂气囊抛光实验设备中对一未知几何信息的工件进行了自动抛光操作,对抛光效果和抛光过程中的接触力进行了实验对比和数据分析。结果表明,该策略在应用改进的力/位并行控制算法跟踪和识别一个未知的抛光工件曲面是可行、有效的。
简介:摘要:连杆作为发动机的关键核心零件之一,其加工精度和表面质量对使用有很大的影响。由于连杆装在曲轴箱内,其表面清洁程度对整机清洁度也有较大的影响。本文应用自由滚磨技术,设计了连杆抛光机;其目的是综合提高连杆表面外观质量,改善物理力学性能,降低表面粗糙度值,提高表面硬度和耐磨性,从而提高发动机的使用寿命。
简介:摘要:为了改善铍青铜试样表面的抛光效果,解决传统机械抛光划痕深浅不一问题,我们研制了一种全新的抛光工艺——电解抛光。电解抛光工艺与溶液浓度、时间、电压等参数密切相关,合理控制与这些工艺参数才能达到理想的抛光效果。