简介:研究表明含氟气体的性质决定了原子氟(F)的转化效率,通常在CxFy气体中x的值越大,氟(F)的转化效率也就会越高。所以C3F8(八氟丙烷)比C2F6(乙氟烷)具有更高的利用效率,更少的PFC(全氟化物)的排放。文章主要研究在以四乙氧基硅烷(TOES)为基础的离子增强化学气相沉积(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition,PECVD)的清洗制程中,利用分解效率高的C3F8气体取代C2F6气体。通过实验设计(DesignOfExperiment,DOE),调整腔体压力、射频(RF)功率、气体流量等参数,最终得到最优化的新清洗配方。应用到实际的量产中,有效地降低了成本,减少了PFC的排放。
简介:Asanimportantmulti-functionalmaterialappliedinsurfaceacousticwavedevices,opticalcommunications,laserandoptoelectronicsduetoitsgoodphotoelectricandpiezoelectricproperties,lithiumtantalate(LiTaO3)hasdrawnextensiveinterests[1].NumerousphysicalpropertiesofLiTaO3,suchasacoustical,electronicstructures,opticalpropertiesandeffectivemass,thermodynamicproperties,havebeenreportedinseveralpapers.Pointdefectswillaffecttheelectronicstructurewhichshouldberesponsibleformanyphysicalproperties,especiallyopticalproperties.
简介:摘要目的评价激素替代治疗绝经综合症的疗效、安全性并探讨理想的治疗方案。方法选择2012年1月至2013年6月有绝经综合症、改良Kupperman评分在20分以上、无激素替代治疗使用禁忌症的妇女60例,给予激素替代治疗,观察改良Kupperman评分,在使用后6个月观察症状改善、临床反应情况。口服给药36例,阴道给药24例,两组评分均有明显下降,两组均未发现乳腺癌及子宫内膜癌。结论激素替代治疗妇女绝经综合症疗效明显,制定个体化治疗方案,严密监测,安全可靠。
简介:Eu3+activatedSr1–xEuxZrO3(x=0.01–0.04)phosphorwithperovskitestructurewassuccessfullysynthesizedbyusingcombustionmethod.Thestructure,morphologyandopticalpropertiesofthematerialwerecharacterizedbyX-raydiffraction,scanningelectronmicroscopyandfluorescencespectrometry.TheXRDresultsindicatedthatcrystalsofSrZrO3:Eu3+belongstotetragonalperovskitesystem.ThephosphorcouldbeeffectivelyexcitedbyUVlightandtheemissionspectraresultsindicatedthatreddish-orangeluminescenceofSrZrO3:Eu3+duetomagneticdipoletransition5D0→7F1at593nmwasdominant.Thus,thepreparedphosphorshowedremarkableluminescentpropertieswhichfindapplicationsinfieldemissiondisplay(FED)andplasmadisplaypanel(PDP)devices.
简介:本书为研究古代散曲学的开山之作,任中敏先生精心搜集了元明以来的散曲选本凡12种,其中元人选本2种:杨朝英《阳春白雪》、胡存善《乐府群玉》;元人专集4种:马致远《东篱乐府》,乔吉《梦符散曲》,张可久《小山乐府》,贯云石、徐再思《酸甜乐府》;明人专集5种:康海《游东乐府》、王磐《王西楼先生乐府》、冯惟敏《海浮山堂词稿》、沈仕《唾窗绒》、施绍莘《花影集》;清人总集1种:朱彝尊等《清人散曲选刊》;另有任氏自撰曲学著作3种:《作词十法疏证》、《散曲概论》、《曲谐》。这些著作多从元明以来的别集、曲选、笔记中搜集而来,广罗众本,校其异同,辑佚辨伪,有散曲集大成之性质。原书为仿宋版,无标点。本次整理,采用横排版式,加以新式标点。并对原文字句作了校勘,以“今校”的形式补其初版讹误与未备。