简介：论述了离子束曝光技术的原理、特点,分析了其面临的关键技术问题,如掩模技术、离子源技术、图像对准技术等,并介绍了这些年来国外的一些研究机构及公司在离子束曝光技术上的研究进展及

简介：TB922002032253基于线阵CCD阵列的在线检测方法=New3DsurfacemeasurementonlinebasedonlinearCCDarrays[刊,中]/周鸿,赵宏(西安交通大学机械学院激光与红外应用所.陕西,西安(710049))//半导体技术.-2001,26(11).-1-4利用矩形光栅离焦投影,产生正弦光场,通过三个严格排列的线阵CCD阵列对物体三维轮廓进行扫描采样测量,一次扫描就可以获得三幅相位图。重点讨论了该方法的原理和特点,并给出试验简图及实际测量结果。图8(李瑞琴)

简介：TN305.72002032298光学邻近校正改善亚微米光刻图形质量=Opticalproximitycorrectionforimprovingpatternqualityinsubmicronphotolithography[刊,中]/石瑞英(四川大学物理系.四川,成都(610064)),郭永康(中科院微电子中心.北京(100010))//半导体技术.-2001,26(3).-20-26论述了近年来光学邻近校正技术的进展,讨论了各种行之有效的改善光刻图形质量的校正方法,并分析了邻近效应校正在未来光刻技术中的地位和作用。图8表1参14(李瑞琴)TN305.72002032299光刻技术在微细加工中的应用=Applicationoflithographytechnologytomicroelectronicmanufacturing[刊,中]/刘建海(上海先进半导体制造有限

简介：TB9296021319用于沙体三维形态检测的二维傅立叶变换轮廓术=Two-dimensionFouriertransformprofilometryforthemeasurementofthree—dimensionsandbodyshapes[刊,中]/林金凤,苏显渝(四川大学光电系。四川,成都(610064))∥光电工程。—1995,22(6)。—52—59,40

简介：~~

简介：摘要随着社会经济发展与人们生活水平的提高，人们对电力需求的不断增长推动了电力行业的快速发展。为确保电力供应的稳定性与安全性，电力系统控制模式不断发展，集控运行控制模式属于当前最为先进的控制模式，逐步取代了传统的电力系统管控模式。集控运行控制模式其应用了计算机技术、网络通讯技术、电子技术等先进技术，在发电厂管理及能源开发领域应用较为广泛。

简介：摘要随着社会经济发展与人们生活水平的提高，人们对电力需求的不断增长推动了电力行业的快速发展。为确保电力供应的稳定性与安全性，电力系统控制模式不断发展，集控运行控制模式属于当前最为先进的控制模式，逐步取代了传统的电力系统管控模式。集控运行控制模式其应用了计算机技术、网络通讯技术、电子技术等先进技术，在发电厂管理及能源开发领域应用较为广泛。

简介：摘要本文分别从模糊控制技术、神经网络技术、专家系统技术、遗传算法技术等方面，分析了电梯群控的技术现状，指出了其未来发展方向，望能为此领域研究有所帮助。

简介：摘要随着社会经济的不断发展，火力发电厂成为了我国国民经济发展过程中的重要支柱产业之一，对我国经济效益的提升具有关键性的作用。通过火力发电厂运行环节，可以有效的将热能转变成电能，并且在正常生产过程中会产生巨大的热量，这些热量的产生可能会在一定程度上对设备造成损坏，因此在火力发电厂运行过程中一定要控制好热量，做好防范措施，以确保设备的正常工作。

简介：出了二环链系统，并利用二环链特征向量，给出了一个系统可实现二环链分解的充分必要紊件，给出了可实现二环链线性系统的分解算法，研究了二环链系统的稳定性和能控性.

简介：摘要世界经济的飞速发展，使得全球的能源问题逐渐变成了一个全新的问题。为了适应如今的电力部门逐渐向市场化的现代企业的转变，社会出现了另一种全新的电力设备检修的策略，即电力电子设备的状态检修。电力设备状态检修是凭借设备的日常运行状态与健康状态来进行检修的新型预知性作业。本文就电力设备系统中，状态检修普遍存在的故障问题进行深入的探讨，并根据在状态检修的过程中出现的技术问题进一步探究，最后提出了相关的策略，推进电力设备状态检修的发展。

简介：TJ765．32006065461提高泡沫云对红外/毫米波复合制导干扰效果的实用途径研究=AvenueofimprovinginterferenceeffectagainstIR/MMWguidancebyspecialfoamscrecn[刊,中]/金良安(海军大连舰艇学院航海系．辽宁,大连(116018)),战希臣…//红外与毫米波学报．—2006,25(3)．—188-191为寻求提高特种泡沫云对IR/MMW复合制导干扰效果的实用途径,进行了专门的理论研究和实验分析。结果表明,在通常的毫米量级下,泡沫云中的气泡直径越小,对

简介：O484.598063898测量金属膜粗糙度的表面等离子激元光谱方法=Surfaceplasmonspectroscopyformeasuringthesurfaceroughnessofmetallicfilms[刊,中]/邓里文,王恭明(复旦大学物理系三束材料改性国家重点实验室.上海(200433))//光学学报.—1998,18

简介：O484.596042597不同表压下芪盐单层LB膜二次谐波的研究=Studyofsecond-harmonicgeneration(SHG)forstilbaziumsaltLangmuir-Blodgettmonolayerfilmatthedifferentsurfacepressure[刊,中]/李加,侯延冰,张光寅,张春平,田建国(南开大学

简介：TJ765.3332005032372红外导引头定向扫描方式研究=Beamedscanmodestudyoninfraredguideunitinfieldofview[刊,中]／杨乐(空间工程大学工程学院.陕西,西安(710038)),陈少华…∥红外技术.-2004,26(5).-72-74,79为了充分利用导引头的探测能力,根据搜索空域的几种指标,针对定向扫描方式,设计了3种扫描方式,对捕获可行性问题进行了初步探讨,给出并分析了仿真结果。图5参4(严寒)

简介：TH70397063910杂散光测试仪电路设计=Circuitdesignonstraylighttestingequipment[刊,中]/张尧(上海光学仪器研究所.上海(200093)).∥光学仪器.—1996,18(3).—29—32

简介：研究了设备可制造性评价过程，建立了设备可制造性综合评价体系，给出了设备可制造性综合评价的方法。

简介：摘要输电线路施工不仅属于高空作业，同时是一种立体动态作业，具有劳动强度大、风险大以及安全隐患多等特点。输电线路在实际进行施工时施工地点多位于崇山峻岭，作业环境十分恶劣，这给安全管理工作的顺利进行造成极大阻碍。线路建设施工的安全问题日益突出，对电力施工企业的安全管理提出了新的挑战。

简介：摘要变电运行维护是一项复杂性比较强的工作，其中倒闸操作是其中的关键性环节。目前变电运维误操作事故频发，为了减少事故的发生首先就要找出其中的原因，然后采取针对性的措施加以治理。

简介：摘要变电运行维护是一项复杂性比较强的工作，其中倒闸操作是其中的关键性环节。目前变电运维误操作事故频发，为了减少事故的发生首先就要找出其中的原因，然后采取针对性的措施加以治理。