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XPS和TOF-SIMS在PCB失效分析中的应用

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摘要 X射线光电子能谱仪（XPS）和飞行时间二次离子质谱（TOF-SIMS）作为浅表面化学分析的两种重要手段,能够高精度的提供村料表面丰富的物理化学信息,在诸多行业的科学研究中被广泛应用.本文通过设备原理分析,结合具体应用实例,对XPS和TOF-SIMS在PCB失效分析的应用做了简单探讨.

DOI wjvr8okn47/1833474

作者何骁;周亮;沈江华;李伟明

机构地区不详

出处《印制电路资讯》 2018年3期

关键词 XPS TOF-SIMS 失效分析

分类 [电子电信][微电子学与固体电子学]

出版日期 2018年03月13日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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