分析了TCAD技术的主要功能,探讨其在“半导体工艺”课程教学中的应用。并以半导体工艺中的蚀刻为例,利用TCAD技术中ATHENA工艺仿真模块,对比了湿法蚀刻和干法蚀刻的特点。
扬州教育学院学报
2013年3期