TCAD在“半导体工艺”课程中应用的教学探讨

(整期优先)网络出版时间:2013-03-13
/ 1
分析了TCAD技术的主要功能,探讨其在“半导体工艺”课程教学中的应用。并以半导体工艺中的蚀刻为例,利用TCAD技术中ATHENA工艺仿真模块,对比了湿法蚀刻和干法蚀刻的特点。