等离子体技术与印制板生产中应用-中国期刊网

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（整期优先）网络出版时间：2006-09-19

作者: 龚永林

电子电信 >微电子学与固体电子学

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叙述了等离子体定义，它的作用原理以及该项技术的应用领域，特别是在印制板生产中应用。

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