简介：全面垂直层流洁净室气流组织的三个参数(不均匀性NU、通风效率Ea、流线平行度)影响着芯片的成品率.本文从以下方面论述了洁净室的气流组织的影响因素:送风方式、洁净度不同的速度介面、洁净室内设备及操作人员、洁净室的地板和盲板、灯具、缝隙等,为以后的精确分析洁净室的洁净度和对洁净室的气流组织优化提供帮助.
简介：空调器焓值法测试台中，空气接收混合箱的设计和湿球温度的测量准确度直接影响着测试精度。仿真结果表明，通过在接收箱内加装带有挡流板和导风板的混合器，对气流的均匀扩散、测量精度的提高有明显效果。取样风速为5～7m／s时，所测得湿球温度与空气实际的湿球温度偏差仅0．15％。
全面垂直层流洁净室气流组织影响因素探讨
提高焓差法测试精度的方法探讨
